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9、影響電容傳感器測量精度的因素是什么？如何消除？
1溫度對電容結(jié)構(gòu)尺寸的影響，應(yīng)選取溫度系數(shù)小和溫度系數(shù)穩(wěn)定的材料，即應(yīng)首選根據(jù)合理的初始電容量決定間隙d0，然后根據(jù)材料的線膨脹系數(shù)β2、βh1、βh2選擇材料的合適尺寸h1、h2，以滿足或溫度補償條件的要求，即達成溫度補償?shù)哪康摹?br />
2、漏電阻的影響：應(yīng)選用絕緣性能很好的陶瓷，石英、聚四氟乙烯等材料作為兩極板之間的支架，可大大提高兩極板之間的漏電阻。當然，適應(yīng)地提高激勵的頻率也可以降低對材料絕緣性能的要求。
3、外界干擾的影響。防止和減小干擾的措施如下：屏蔽和接地、增加原始電容值，以降低容抗，減小被干擾電容淹沒的危險、減小導(dǎo)線間的分布電容的靜電感應(yīng)。因此導(dǎo)線與導(dǎo)線之間要運行，距離盡可能一點接地，地線要用較粗的梁導(dǎo)體或變印制線、盡量采用差動式電容傳感器，可以提高傳感器靈敏度，減小非線性誤差。
4、電容電場邊緣效應(yīng)的影響。為了消除邊緣效應(yīng)的影響，首先應(yīng)增大初始電容量C0。即增大極板面積，減小極板間距，其次加等位環(huán)是消除邊緣效應(yīng)的有效方法；為了減小因極板厚度h增加而產(chǎn)生邊緣效應(yīng)影響大，往往不采用整塊金屬板作極板，而采用石英或陶瓷等非金屬材料，蒸鍍一薄層金屬作為極板。
5、寄生電容與分布電容的影響，消除和減小寄生分布電容的影響的方法有以下幾種：驅(qū)動電纜法、采用運算放大器法、整體屏蔽法、采用組合式與集成技術(shù)，看短傳感器到測量電路之間的距離。
6、溫度對介質(zhì)的介常數(shù)的影響：消除方法是采用介電常數(shù)溫度系數(shù)為零的空氣或不同云母作為介質(zhì)或測量電路進行溫度補償。
